本系統是公司聯合復旦大學引進美國 Instrue 四極質譜分析技術，基于四極質譜原理的 RGA 可以快速測量并分析真空室內各種氣體的組份與分壓強，采用先進的四極桿質譜技術為您的應用提供了無以比擬的氣體檢測、控制、以及定性定量分析等手段，可在毫秒級時間內全動態范圍對氣體進行采樣。由真空機組、氣體樣品取樣閥、殘余氣體分析儀、應用控制軟件等組成。

適用于真空排氣檢測、真空鍍膜氣氛與殘余氣體監控、混合氣體配比充氣、真空檢漏、粒子加速器、真空內表面放氣鑒定、零件污染源判斷、低溫泵再生，以及去氣劑狀態測量等。

產品已獲得發明專利 1 項、實用新型專利 2 項，申請發明專利 1 項、 實用新型專利 1 項；

主要技術創新特點

1、采用微型腔體四極質譜氣體采樣探頭，整機插拔式安裝。探頭的組裝采用自對準結構，在最大限度內減少真空系統引入塵埃，且便于清洗維護后的再次組裝；

2、自適應高頻諧振 RF 電源，全固態電路設計數據采集系統，軟件自動掃描調節頻率，實現 RF 驅動電路 Q 值最大，實現系統電控部件小型集成化，提高整機可靠性；

3、將物理思路與嵌入式軟件相結合，采用了氣體分子質譜自動校準軟件，使得在開機測量過程中無需外部輔助條件便可始終保持譜峰識別的絕對準確性。

主要科研實驗內容

1、能夠詳細地分析真空系統內部的微量氣體成份種類，各組份分壓強及系統總壓強，同時記錄各組氣體分壓強隨時間的變化；

2、可以任意設定包括氦在內的樣品氣體用作真空系統檢漏；

3、在使用時對四極質譜分析過程的多種參數進行自由設定，可以根據各種電參數的改變，看對氣氛質譜分析的影響，從而易于在基本原理的層次上對四極桿質譜教學分析過程有深入的理解。

主要技術參數

1、極限真空：6.7×10 -5 Pa；

2、抽氣系統：2XZ-4 機械泵 +FF100/110 分子泵；風冷或水冷；

3、測量范圍：1 ～ 100AMU（質量與電荷的比例）；

4、探測器種類：法拉第杯；

5、工作壓強：UHV（極限真空）～ 5.0×10 -2 Pa；

6、分辨率：峰高 10% 處小于 1.0 AMU ( 依據 1993 AVS 推薦方法 )

7、測量速度：2 ms ～ 60 s/AMU （軟件設定）；

8、最大工作溫度（探頭）：200℃；

9、應用軟件：AccuRay 2.0 for Windows；

10、通訊接口：USB 2.0 ( 非隔離，115200 波特率 )；

11、用戶需自備或另購冷卻水系統。